Gaisa filtrēšanas risinājumi mikroshēmu ražošanai

Smalkas cietās daļiņas un gaisa molekulārā kontaminācija (AMC) ir rūpīgi jākontrolē attiecībā uz augstražīgu pusvadītāju ražošanu ar zemu atgrūšanas temperatūru.

AMC avoti ietver:

ķīmiskā atgāze
citu nozaru un procesu izplūdes gāzess
transportlīdzekļu izplūdes gāzes
sezonālie faktori

AAF piedāvā plašu filtrēšanas risinājumu klāstu, sākot ar priekšfiltriem un smalkiem filtriem caur HEPA un ULPA filtriem līdz AMC filtriem. Turklāt AAF piedāvā plašu filtru korpusu klāstu. Tādā veidā var sasniegt cleanroom klases ar visaugstākajām prasībām.

AMC izraisītas kļūmes klasificē šādi:

Mehāniska iedarbība, tostarp dzesēšanas gaisa plūsmas nosprostojums, kustīgo vai optisko daļu traucējumi un virsmu deformācija
Ķīmiskā iedarbība ietver elektrisko komponentu koroziju, jo putekļi sastāv no sēra un hloru saturošiem sāļiem
Elektriskie efekti ietver pretestības izmaiņas un elektroniskās ķēdes vadītāju tiltus

Nozares vadītāju norādījumi

AAF International inženieri aktīvi darbojas standartizācijas komitejās gan ASV, gan Eiropā. Mums ir svarīga loma jaunu standartu un ieteikumu izstrādē attiecībā uz cleanroom pieteikumiem.

Piemēram, mūsu inženieri bija galvenie līdzstrādnieki Vides zinātņu un tehnoloģiju institūta ieteicamās prakses izstrādē un rakstīšanā. Šī profesionālā kompetence ir atspoguļota katra mūsu ražotā tīras telpas filtrēšanas risinājuma projektēšanā, ražošanā un testēšanā.

Rezultāts ir tīras telpas filtri, kas izstrādāti un samontēti, lai nodrošinātu jums nepieciešamo daļiņu noņemšanu, vienlaikus nodrošinot energoefektivitāti un ietaupījumus.