Filtrēšanas risinājumi mikroelektronikai

Gaisa molekulārā piesārņojuma (AMC) samazināšana

Lai pusvadītāju ražošanā nodrošinātu augstu ražīgumu un zemu atteices līmeni, ir rūpīgi jākontrolē smalko daļiņu un gaisā esošā molekulārā piesārņojuma (AMC) daudzums. 

AMC avoti ietver:

  • ķīmiskās atgāzes
  • citu nozaru un procesu izplūdes gāzes
  • transportlīdzekļu izplūdes gāzes
  • sezonālos faktorus

AAF piedāvā plašu filtrēšanas risinājumu klāstu, sākot no priekšfiltriem un smalkajiem filtriem, HEPA un ULPA filtriem līdz AMC filtriem. Turklāt AAF piedāvā arī plašu filtru korpusu klāstu. Šādā veidā var sasniegt visaugstākās prasības konkrētas klases "cleanroom" telpās.

  • Mehāniska iedarbība, tostarp dzesēšanas gaisa plūsmas nosprostojums, kustīgo vai optisko daļu traucējumi un virsmu deformācija
  • Ķīmiskā iedarbība ietver elektrisko komponentu koroziju, jo putekļi sastāv no sēra un hloru saturošiem sāļiem
  • Elektriskie efekti ietver pretestības izmaiņas un elektroniskās ķēdes vadītāju tiltus

 

AAF International inženieri aktīvi darbojas standartizācijas komitejās gan ASV, gan Eiropā. Mūsu uzņēmums ieņem svarīgu lomu jaunu standartu izstrādē un prakses ieteikumu sniegšanā tīro telpu lietojumiem.

Piemēram, mūsu inženieri ir bijuši galvenie līdzstrādnieki Vides zinātņu un tehnoloģiju institūta ieteicamās prakses izstrādē un rakstīšanā. Šī profesionālā kompetence atspoguļojas katrā mūsu ražotā tīro telpu filtrēšanas risinājuma projektēšanā, ražošanā un testēšanā.

Rezultātā tīro telpu filtri ir konstruēti un samontēti tā, lai nodrošinātu nevajadzīgo daļiņu aizvākšanu, kā arī vienlaikus nodrošinātu energoefektivitāti un ietaupītu uzņēmuma finanses.

Jautājumi?


Sazinieties ar mums:
+371 67069823

vai atrodiet vietējo departamentu

Risinājumi un pakalpojumi

Document Finder
Kontakti
Mail
Top of Page