Gaisa filtrēšanas risinājumi mikroshēmu ražošanai

Lai pusvadītāju ražošanā nodrošinātu augstu ražīgumu un zemu atteices līmeni, ir rūpīgi jākontrolē smalko daļiņu un gaisā esošā molekulārā piesārņojuma (AMC) daudzums.

AMC avoti ietver:

ķīmiskās atgāzes
citu nozaru un procesu izplūdes gāzes
transportlīdzekļu izplūdes gāzes
sezonālos faktorus

AAF piedāvā plašu filtrēšanas risinājumu klāstu, sākot no priekšfiltriem un smalkajiem filtriem, HEPA un ULPA filtriem līdz AMC filtriem. Turklāt AAF piedāvā arī plašu filtru korpusu klāstu. Šādā veidā var sasniegt visaugstākās prasības konkrētas klases "cleanroom" telpās.

AMC izraisītas kļūmes klasificē šādi:

Mehāniska iedarbība, tostarp dzesēšanas gaisa plūsmas nosprostojums, kustīgo vai optisko daļu traucējumi un virsmu deformācija
Ķīmiskā iedarbība ietver elektrisko komponentu koroziju, jo putekļi sastāv no sēra un hloru saturošiem sāļiem
Elektriskie efekti ietver pretestības izmaiņas un elektroniskās ķēdes vadītāju tiltus

Nozares vadītāju norādījumi

AAF International inženieri aktīvi darbojas standartizācijas komitejās gan ASV, gan Eiropā. Mūsu uzņēmums ieņem svarīgu lomu jaunu standartu izstrādē un prakses ieteikumu sniegšanā tīro telpu lietojumiem.

Piemēram, mūsu inženieri ir bijuši galvenie līdzstrādnieki Vides zinātņu un tehnoloģiju institūta ieteicamās prakses izstrādē un rakstīšanā. Šī profesionālā kompetence atspoguļojas katrā mūsu ražotā tīro telpu filtrēšanas risinājuma projektēšanā, ražošanā un testēšanā.

Rezultātā tīro telpu filtri ir konstruēti un samontēti tā, lai nodrošinātu nevajadzīgo daļiņu aizvākšanu, kā arī vienlaikus nodrošinātu energoefektivitāti un ietaupītu uzņēmuma finanses.